雷竞技官方网址Veeco CNT船舶第500套ALD系统

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2017年7月17日

北卡罗来纳州立大学获得里程碑式的订单,加强了工业对Veeco CNT在ALD技术研发方面的依赖雷竞技官方网址

丹佛——(2017年7月17日)——Veeco仪器公司(纳斯达克:VECO)今天宣布,Veeco CNT(前身雷竞技官方网址为Ultratech/Cambridge Nanotech)将其第500个原子层沉积(ALD)系统运往北卡罗来纳州立大学。Veec雷竞技官方网址o CNT Fiji®G2TM ALD系统将使该大学能够为下一代电子设备进行各种研究应用,包括高性能可穿戴设备和传感器。

“Veec雷竞技官方网址o CNT斐济G2 ALD系统将是实现我们雄心勃勃的研究目标的关键工具,”Bongmook Lee博士说,他是北卡罗来纳州立大学NSF NERC协助中心的研究助理教授。“ALD工具使我们在研究高性能CMOS、非易失性存储器、下一代宽带隙功率器件以及环境和生理传感器方面取得进展。”我们选择了Veeco CNT F雷竞技官方网址iji G2,因为它可以可靠地沉积最具挑战性的氧化物和氮化物薄膜。我们很高兴能成为这一里程碑的一部分,接受第500套系统,我们将继续与Veeco CNT保持良好的关系。”雷竞技官方网址

Veec雷竞技官方网址o CNT斐济G2 ALD系统是一种先进的下一代薄膜ALD系统,能够在模块化、高真空、灵活的架构中进行热沉积和等离子体增强沉积,使用多种配置的前体和等离子体气体适应广泛的沉积模式。该系统直观的界面使它很容易监控和更改食谱和流程,根据客户的要求。

“我们的第500个ALD系统出货验证了ALD技术的兴趣越来越大,”加尼甚孙达拉姆,博士,应用技术,Veeco的CNT的副总裁。雷竞技官方网址“现在,随着Veeco公司的支持,我们将继续我们的传雷竞技官方网址统,以建立和加强ALD技术的部署,帮助客户像北卡罗莱纳州立大学开发下一代电子设备。”

2017年5月26日,Veeco收雷竞技官方网址购了世界领先的光刻、激光加工、检测和原子层沉积(ALD)系统供应商Ultratech, Inc.。在过去的15年里,Veeco CNT已经成为领先雷竞技官方网址的ALD系统供应商,广泛应用于大学研发和商业应用,包括生物医学、电子、能源和光学。

雷竞技官方网址Veeco CNT是第17届国际原子层沉积会议(ALD 2017)的白金赞助商,该会议于2017年7月15日至18日在科罗拉多州丹佛市举行。Ultratech-CNT将在23号展位展出,并将发表论文:

作为SuA5应承担的利用单一ALD/SAMS平台(Laurent Lecordier, Ultratech),开发一种全晶片规模的方法,以实现铜对低K(和氧化物)的高ALD选择性;比利时,Armini, Herregods, IMEC

AA-SuP51金属表面的颜色改变的透明ALD薄膜堆,Ritwik Bhatia, A. Bertuch, Ultratech

房颤所致MoP24测量和ALD薄膜和应力的控制纳米层压材料由干涉,Ritwik巴蒂亚,雅达测量

EM-MoP12在使用椭圆偏振光谱,亚当Bertuch,雅达薄膜碳化钼的原位表征;J.豪格伦德,SEMILAB;L.魔界,SEMILAB;J.伯恩斯,SEMILAB;J.麦克比,G.桑达拉姆,雅达

AA1-TuA13TiVN, Mark Sowa, Ultratech等离子体增强原子层沉积的机械、物理和电学特性;N. Strandwitz, L. Ju,利哈伊大学;美国海军研究实验室;Krick, Lehigh大学

关于Veec雷竞技官方网址o

雷竞技官方网址Veeco (NASDAQ: VECO)是一家领先的创新半导体工艺设备制造商。我们的成熟的MOCVD、光刻、激光退火、离子束和单晶片蚀刻与清洁技术在生产用于固态照明和显示器的led以及先进半导体器件的制造中发挥着不可或缺的作用。Veeco的设备设计旨在最大限度地提高性能、产量和拥有成本,因此在所有这些服务市场上,Veeco都处于技术领先地位。雷电竞最新网站雷竞技官方网址了解更多关于Veeco创新设备和服务,请雷竞技官方网址访问www.雷竞技官方网址veeco.com

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