雷竞技官方网址|气体混合控制和重现性

雷竞技官方网址作为气体混合技术的领导者,Veeco公司推出了Apex™气体混合系统,该系统旨在满足这一生产需求,并催化高效、低成本的燃点气体混合。

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2015年8月24日

雷竞技官方网址作为气体混合技术的领导者,Veeco公司推出了Apex™气体混合系统,该系统旨在满足这一生产需求,并催化高效、低成本的燃点气体混合。

Apex系统在单个平台上生成精确的二元气体混合物,用于20nm及以下的半导体应用。与现有的方法相比,Apex改进了浓度控制,提供了更严格的过程管理,增加了工具运行时间并降低了制造成本。它是优化的先进硅外延应用和其他工艺要求低浓度和高精度的成本敏感的气体混合物。Apex提供了一个可靠的通量,二进制气体在高度精确的浓度水平。

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