耐氨源

可延长使用寿命抗腐蚀设备


实现与Veeco的氨resisant,长寿命光源增加正常运行时间和降低维修成本。雷竞技官方网址可用于温度高达120℃下用氨分压高达1×10-4乇。基底加热器也可用于温度高达1200℃和1×10-4乇的氧分压。

  • 氨环境中延长使用寿命
  • SUMO坩埚可提供最佳的通量分布和最小化的耗尽效应
  • 氨的分压达到1×10-4乇
  • 温度高达1200℃
  • 20多名在该领域

使用氨(NH 3)作为氮源由于实现高生长速率的能力,并且其易于控制越来越普遍。因此,氨可以大大减少了设备的使用寿命。由于氢脆,这是不寻常的来源和加热丝只能维持几个月。因此,设备正常运行时间被破坏,从而导致更短的运动长度和高昂的维修费用。

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