腐蚀性系列阀瓣饼干

能够增长复杂的器件结构


随着优越的通量控制的腐蚀性系列阀门裂解,复杂的结构不可能与传统的热控制源可以实现。使用标准源时,不需要频繁的重新校准程序就可以生长出不同成分的混合组V层。连续分级GaAs1-xSbx层的SIMS分析表明,当使用两组V阀瓣裂化剂时,可获得优异的通量控制,在两种不同的生长速率下,可获得相同的结果。

  • 专利的全pbn坩埚和阀门机构,超过175个领域
  • 只有有阀的锑来源,并证明了结果
  • 采用喷嘴,助焊剂均匀性极佳,减少材料浪费
  • 高重复性的机械助焊剂控制
  • 电荷能力大
  • 允许在破裂或未破裂模式下操作
  • 与Sb、Te、Cd、CdTe、Zn、Mg兼容

专利的Veeco腐蚀系列阀雷竞技官方网址门裂解器是目前市场上唯一经过验证的全pbn阀门源。这种创新技术为活性高压材料(如锑和碲)提供了带阀流量控制,这些材料与传统阀源的金属坩埚和阀门不兼容。该源的设计采用了一个完整的阀门总成、坩埚和电导管,完全由热解氮化硼(PBN)构成,以保护它们不受腐蚀。

阀门总成是可拆卸的,允许大容量坩埚轻松地通过电导管加载。加热坩埚以产生束流。通过PBN阀门调节气体流量,提供快速的流量稳定、快速的关闭和卓越的重现性。在裂解区,分子通量可以通过热裂解形成较小的分子或原子。如果需要,源也可以在无裂纹模式下工作。

随着最近的改进,Mark V系列腐蚀性阀门裂解器包含一个喷嘴,提供优异的助焊剂均匀性和减少材料浪费。这种材料利用率的提高导致:

  • 材料成本节约
  • 长时间运动
  • 更短的系统清洗时间
  • 危险性较小的废物产生
  • 减少记忆效应
  • 降低颗粒物水平和剥落
  • 简化系统窗口涂层

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