Piezocon气体浓度传感器

行业标准对重复性的蒸汽输送控制

该Piezocon®气体浓度传感器已成为半导体制造商进行精确监测和CVD化学前驱物蒸气和掺杂气体和MOCVD工艺工具的可重复传送控制中的行业标准。

经过生产验证的全球范围内拥有5000安装,Piezocon系统提供:

  • 改进的方法的再现性和增加的产量通过严格控制工艺气体和前体化学蒸汽的输送
  • 较低成本的操作,允许更有效地使用的前体化学品,延长了使用的前体化学品的来源和减少流动的持续时间泄
  • 更简单的工具到工具匹配与定量信息直接有意义的设备和工艺工程师
  • 通过使用内置的诊断工具中的气体和蒸气输送系统的故障诊断故障援助

我们的团队已经准备好帮助