精密气体混合系统

提高了较高的生产产量燃气混合气浓度

雷竞技官方网址Veeco的精密气体混合系统产生具有更紧密的过程控制和更高的产率改进的浓度控制气体的混合物。混合物浓度的活性控制补偿了上游浓度变化或漂移。例如:从1%的掺杂剂的预混物,所述Piezocon精密气体混合系统可以产生具有±0.5ppm的或更好的浓度控制,罐槽和在槽的货架寿命一个50ppm的掺杂物气体混合物。

  • 节约成本:从一个纯的或从较高浓度的气体混合物采购降低的罐交换,并最小化工具停机时间频率;高投资回报率
  • 通用性:可以处理最常用的前体或掺杂剂的气体混合物
  • 方便:允许工艺工程师在通过该方法在点的使用在宽范围的浓度所需的浓度拨号
  • 更简单的物流:允许设备工程师,以减少多种浓度混合气体的库存
  • 的易于使用:友好的用户界面允许活性气体的选择和稀释气体,并设置点的使用所需的浓度
  • 紧凑:可安装在一个小通气孔的箱内或VMB

为了符合行业安全协议,大湄公河次区域必须安装在一个符合标准的SEMI-气箱。

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