推进用于5G、光子学和CMOS的300毫米GaN-MOCVD系统

全自动,单晶圆集群系统,可在300毫米基板上生产5G射频,光子学和先进的CMOS器件。

推进装置™ 300毫米全自动单晶圆机群系统是唯一一个经过工业验证的GaN-MOCVD工具,能够在300毫米基板上生产5G射频、光子和先进的CMOS器件。

Propel 300毫米系统采用单晶圆反应器平台,能够在300毫米晶圆上生产一流的高质量外延膜,具有优异的均匀性、重复性和成品率。Propel 300毫米系统可配置多达3个模块化集束室,并提供自动磁带到磁带的处理,以获得最大的灵活性和生产力。

单晶圆反应器基于Veeco领先的TurboDisc®设计,包括™ 和对称热雷竞技官方网址™ 在整个晶圆上提供层流和均匀温度分布的技术。客户可以轻松地将工艺从Veeco单晶圆反应堆推进和推进HVM系统转移到推进300毫米GaN MOCVD系统,以便快速开发到生产。

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