推进HVM的GaN MOCVD系统的电源,5G RF和光子

单晶片反应堆技术实现了高效和高质量的氮化镓为基础的设备,用于电源,5G RF和光子学应用

雷竞技官方网址Veeco的行走™HVM的GaN MOCVD系统被设计为一种独特的,高音量基于GaN的电源,RF和光子器件制造单晶片反应器的集群系统。设有一个单晶片反应器平台,能够产生对150个200mm晶圆为特殊的均匀性,可重复性和产量最佳的级高质量外延膜的性能的。该行走HVM系统可以配置多达6个模块簇群室实现最大的生产力和灵活性,是理想的客户代工或IDM企业。

单晶圆反应器是基于Veeco的领先TurboDisc®设计突破性技术,包括雷竞技官方网址IsoFlange™和SymmHeat™,提供在整个晶片层流和均匀的温度分布。客户可以很容易地从Veeco的单晶片反应器中行走和K465i™系统转移过程的行走HVM氮化雷竞技官方网址镓MOCVD平台快速发展的生产周期

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