基底加热器可作为共同MBE系统直接更换部件。雷竞技官方网址Veeco公司提供的是专为特定温度和生长环境条件应用特定的基片加热器。在标准的加热器的情况下，优良的热均匀性通过PBN扩散板和复杂的设计长丝实现。密集将钨金属丝提供了一个均匀地加热的表面积。丝优于箔，因为其更一致的横截面的均匀性防止热点的形成。灯丝组件的特征紧密间隔布置在背道而驰旋转，从而确保这两个键合和非键合的块将被加热uniformly.Efficient功耗衬底加热器的标志的图案平行导线。灯丝表面积被最大化和热屏蔽被设计成投射热能朝向基板。可以通过多达50％，比该OEM加热器可以减小功率/电流消耗。背景压力被提高，RHEED图案是具有较少感应干扰更加清晰。洁净手术结果从建筑材料和特高压兼容的制造技术的谨慎选择。 Only tantalum, tungsten and PBN are used in the hot zone of the heater used in standard III-V applications. Efficient operation also minimizes outgassing during growth.

的高度响应的钨金属丝增强的可靠性和再现性。它牢牢掌握在由先进的隔离系统的地方举行，以确保性能不会改变，由于改变形状或位置。在PBN扩散板免受由基板传送期间源材料或意外损坏被涂覆灯丝。

一些可选的衬底加热器设计增强功能包括：

• 用于加热灵活性优化双灯丝
• 用于高温和替代生长环境细丝材料
• 扩散体材料替代生长环境