的TurboDisc EPIK 868 MOCVD系统LED生产

与最大资本效率和节约足迹领先的性能

雷竞技官方网址Veeco的EPIK 868是LED业内性能最高的MOCVD系统,使卓越的均匀性和重复性,低缺陷。可用在四反应器构型,EPIK 868设有突破性技术包括专有IsoFlange™和TruHeat™技术,提供在整个晶片载体层流和均匀的温度分布。这些技术创新推动对小型和微型LED所需更高的产量。固有EPIK 868是TurboDisc®技术,使最高的系统可用性和正常运行时间。设计用于大批量生产,EPIK 868高容量载体容纳多个4” 或6” 晶片尺寸为最低的拥有成本。客户可以很容易地从现有的TurboDisc系统转移过程的新EPIK 868 MOCVD平台,为快速启动生产高品质的小型和微型的LED。

  • 优良的均匀性与低缺陷
  • 紧凑的集群架构
  • 高通量架构最高产量

我们的团队已经准备好帮助