ald生产

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大型基板的均匀性,再现性和低温沉积使ALD成为下一代大型制造薄膜技术的理想候选者。

雷竞技官方网址Veeco通过扩大过程并将其实施进入世界各地的自动化线条和集群工具,完善了ALD作为制造级技术。综合我们的ALD系统的制造商已经看到产品质量和可靠性以及与以前的涂层技术相比的运营成本和更环保的占地面积。

Batch ALD工具:Phoenix®

如果您有生产ALD需要,那么我们的Phoenix®生产ALD系统是正确的选择。Phoenix®是一种批量ALD工具,能够一次保持大量基板。其独特的腔室设计可确保从批量批量的精确薄膜
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HVM ALD工具:Firebird™

凭借其长期活动和增强的可维护性,Firebird™HVM ALD系统符合并超过小批量预生产评估的所有权需求一直以斜坡生产。Firebird™提供高达40,000个晶圆的吞吐量,Firebird™结合了一流的生产率,优越的薄膜性能和低运行成本,以满足您对专业晶圆生产的最苛刻的大批量生产需求。
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