ALD研究

ALD研究

雷竞技官方网址Veeco的原子层沉积研究系统由ALD科学家设计,建成了最大的实验灵活性和价值。通过通用前体递送系统,可以在任何前体口中使用固体,液体或气体化学物质。有许多选项可供选择,包括臭氧发生器,原位监控和各种配置。一如既往,我们的ALD科学家团队准备回答您的食谱开发和电影特征问题。在我们的Savannah®MotherAlAldSystem和Fiji®等离子ALD系统上进行了超过800篇发表的学术论文功能研究。

原子层沉积系统:Savannah®

我们的Savannah®系列安装了超过300个全球系统,是ALD研发的标准。Savannah®将易用性和实验性灵活性的易用性结合在紧凑,廉价的包装中。

我们的Savannah®系列是您正在寻找实惠,可靠的ALD研究系统的完美场所。
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原子层沉积系统:FIJI®

当您的需求更先进并且您需要更具实验灵活性时,斐济是符合您需求的系统。全世界已安装了100多种系统。斐济是模块化的,可以定制以满足您的特殊需求。

FIJI®配有等离子发生器,以实现等离子体增强型ALD。它可以配置为洁净室兼容性和/或可选的LoadLock。
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