电池

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雷竞技官方网址Veeco Cambridge Nanotech为所有固态3D锂离子电池提供最佳的ALD解决方案:充分优化的锂氧化物薄膜,低污染,三元和四元锂化薄膜的成分可调,原位诊断快速过程优化和薄膜表征。

薄膜电极,电解质和钝化层

通过在纳米结构3D锂离子电池中实施锂基ALD薄膜,最近据报道,在充电/放电期间的电力密度,循环性能和安全性的显着增益。

使用Veec雷竞技官方网址o CNT ALD平台,高比容量的电化学活性材料,如LiCoO2, LiMn2O4三元或锂过渡金属磷酸盐季相(如LiFePO4)已成功沉积在高宽比3D纳米结构上,导致快速离子传输和增加功率密度。

固态电解质,如磷酸锂[8]、钽酸锂[12]或LiPON[2]已经在Savannah®和Fiji®平台上沉积,以实现可调的高离子电导率。

在电化学循环过程中,非常薄的钝化层(如Al2O3 (<1nm))通过抑制过渡金属的溶解,同时使锂离子通过钝化层扩散,也显著提高了锂离子电池的容量保留最近Xiao等利用电化学活性FePO4涂层[6]优化了LiNi0.5Mn1.5O4正极材料的性能层。

ALD对3D锂离子电池的好处

  • 更高的力量
  • 在3D纳米结构中,较短的扩散路径可以获得更高的功率密度
  • 放电率
  • 提高了高表面积比的充放电率
  • 循环寿命
  • 使用ALD钝化层和低应力薄膜提高循环寿命
  • 安全
  • 不易燃的固体电解质

沉积在碳纳米管上的共形LiFePO4阴极膜表现出优异的放电容量和速率能力[10]

在Li+离子电导率为2E-8S/cm[13]的高长径比AAO中沉积Li5.1TaO2固体电解质

原位XPS演示无碳Li2O ALD与LiOtBu / H2O在斐济®

用ALD沉积的LiPON固体电解质。离子电导率由膜[2]中%N的含量来调节



参考文献 - 最近在Veeco CNT ALD平台上完成的出版物雷竞技官方网址

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