离子束沉积

利用离子束沉积(IBD)系统,制造出具有最大均匀性和可重复性的超精密、高纯度薄膜层器件。

沉积系统

利用离子束沉积(IBD)系统,制造出具有最大均匀性和可重复性的超精密、高纯度薄膜层器件。