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离子源

雷竞技官方网址Veeco为广泛的应用提供了最全面的离子束源，包括业界唯一的线性包装来源。

网格直流离子源

经过验证的线性包装直流离子源，用于高度均匀，可靠的离子束沉积工艺平台，利用大/宽的单个基板或大型基板批次。

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无条件的端馆离子源

雷竞技官方网址Veeco的无条件端静脉离子源为真空涂层工艺提供高光束电流。

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网格RF离子源

雷竞技官方网址Veeco的网格RF离子源专为改进的长次离子束沉积工艺生产而设计。

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