湿加工系统

使用可持续实践的表面准备对于确保您的先进微电子的可靠性注定用于汽车应用,医疗设备,5G和云存储。

湿加工系统

使用可持续实践的表面准备对于确保您的先进微电子的可靠性注定用于汽车应用,医疗设备,5G和云存储。

设备应用:
  • RF.
  • MEMS.
  • 数据存储
  • 光子学
湿加工应用套件:
WaferstorM平台
  • 金属剥离
  • 光致抗蚀剂/干膜条
  • 助焊剂清洁
  • 洗涤器
  • TSV清洁
玻璃浮雕平台
  • UBM / RDL蚀刻
  • 化合物半导体蚀刻和硅薄
与湿法工艺进行材料差异: